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三氟碘甲烷/CF3I

作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体,可应用于半导体闪存芯片的前段刻蚀。

产品信息概括

项目

说明

化学名称

三氟碘甲烷,三氟烷基碘

CAS号

2314-97-8

ODP

≈0

GWP100年

<5

大气寿命(天)

<2

 

物化性质

属性

化学名称

三氟碘甲烷,三氟烷基碘

结构

CF3-I

分子式

CF3I

分子量

195.91

沸点(℃)

-22.5

熔点(℃)

-110

比重(25℃时)

2.096

蒸汽压力(20℃,MPa)

0.427

临界压力(MPa)

4.04

临界温度(℃)

122

临界体积(cm3/mole)

225

空气中的可燃范围(%vol)

不可燃

包装规格:4.64L/10.2L/44L钢瓶