反式-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯/HFO-1336mzz(E)
作为一种新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。
产品信息概括
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项目 |
说明 |
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化学名称 |
反式-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯，六氟-2-丁烯(反式)，HFO-1336mzz(E) |
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CAS号 |
66711-86-2 |
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ODP |
0 |
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GWP100年 |
18 |
物化性质
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属性 |
值 |
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化学式 |
反式 CF3-CH=CH-CF3 |
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分子式 |
C4H2F6 |
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分子量(g/mol) |
164.05 |
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比重（g/ml） |
1.356 |
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沸点（℃） |
7.5 |
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临界压力（MPa） |
3.15 |
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临界温度（℃） |
137.7 |
包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶