六氟丙烯/PFC-1216
作为一种新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。
产品信息概括
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项目 |
说明 |
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化学名称 |
六氟丙烯；全氟丙烯；PFC-1216；HFP |
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CAS号 |
116-15-4 |
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分子式 |
C3F6 |
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分子量 |
150.02 |
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沸点（101.325kPa，℃） |
-29 |
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蒸汽压（27℃, kPa） |
788.168 |
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密度(-40℃，g/cm3) |
1.58 |
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包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶