1,1,1,2,3,3-六氟丙烷/HFC-236ea
作为一种新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。
产品信息概括
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项目 |
说明 |
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化学名称 |
六氟丙烷；1,1,1,2,3,3-六氟丙烷；HFC-236ea |
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CAS号 |
431-63-0 |
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分子式 |
C3H2F6 |
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分子量 |
152.04 |
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沸点（101.325kPa，℃） |
6.19 |
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临界温度（℃） |
139.29 |
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临界压力(MPa) |
3.50198 |
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包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶