1,1,1,3,3,3-六氟丙烷/HFC-236fa
作为一种新型干法刻蚀气体，可应用于半导体的前段刻蚀。
产品信息概括
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项目 |
说明 |
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化学名称 |
六氟丙烷；1,1,1,3,3,3-六氟丙烷；HFC-236fa |
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CAS号 |
690-39-1 |
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分子式 |
C3H2F6 |
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分子量 |
152.04 |
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沸点（101.325kPa，℃） |
-1.1 |
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蒸汽压（25℃, kPa） |
260.8 |
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密度(101.325kPa，g/cm3) |
1.371 |
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包装规格：4.64L/10.2L/44L钢瓶