一氟甲烷/HFC-41
高纯一氟甲烷HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气，它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜，可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。
产品信息概括
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项目 |
说明 |
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化学名称 |
一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41 |
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CAS号 |
593-53-3 |
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ODP |
0 |
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GWP100年 |
150 |
物化性质
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属性 |
值 |
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化学名称 |
一氟甲烷,氟甲烷，甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41 |
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结构式 |
CH3-F |
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分子式 |
CH3F |
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分子量 |
34.03 |
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沸点（℃） |
-78.4 |
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凝固点（℃） |
-142 |
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临界温度（℃） |
44.5 |
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蒸汽相对密度（空气=1） |
1.2 |
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液体相对密度（水=1） |
0.61 |
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蒸汽压（20℃，bar） |
33 |
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空气中的可燃范围（%vol) |
>5.6 |
包装规格：4.64L/10.2L/44L 钢瓶