高纯电子刻蚀气体六氟丙烷HFC-236fa成功研制
高纯1,1,1,3,3,3-六氟丙烷（HFC-236fa）在半导体工业中可作为刻蚀气体，用于某些芯片的制造过程。北京宇极科技发展有限公司（以下简称“北京宇极科技”）经潜心研发，成功研制了满足电子刻蚀纯度要求的HFC-236fa，可作为半导体企业的备选气体之一。作为含氟化工品生产企业，北京宇极科技拥有独立自主知识产权HFC-236fa的提纯工艺技术，可产出4N级高纯产品，亦可根据不同客户的要求，对杂质组分进行有针对性的定向去除。
1,1,1,3,3,3-六氟丙烷（HFC-236fa），英文名称1,1,1,3,3,3-Hexafluoropropane，ODP为0，GWP为8060。CAS号690-39-1，UN号3163，化学式CF3CH2CF3。常温常压下是无色无味可液化的气体，化学稳定性好。
HFC-236fa的物化数据
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外观与性状 |
无色无味液化压缩气体 |
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分子量（g/mol） |
152.04 |
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沸点（at 1.013 bar, ℃） |
-1.1 |
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蒸汽压（at 25℃, bar） |
2.608 |
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密度（at 25℃, g/ml) |
1.371 |
HFC-236fa的应用
高纯HFC-236fa是一种新型的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀。HFC-236fa也被用作重要的灭火剂原料。
产品规格
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纯度等级 |
4N |
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纯度 |
≥99.99% |
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杂质组分 |
N2, O2, H2O, CO2, CO等 |
包装信息
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钢瓶容积(L) |
充装重量(kg) |
阀门 |
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10.2 |
10 |
CGA 350 |
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47 |
50 |
CGA 350 |
运输信息
DOT Name: Liquefied Gas (Hexafluoropropane)
DOT Hazard Class: 2.2
UN No.: UN 3163
DOT Label: Non-flammable Gas
CAS NO.: 690-39-1